进口高真空球阀
为高真空系统提供可靠的通断控制，德国Lit力特进口高真空球阀采用精密密封技术，实现极低泄漏率，满足半导体、镀膜、科研等严苛工况需求。
泄漏率 < 10⁻⁹ Pa·m³/s
高真空密封
多种连接方式
获取选型支持
HV
高真空球阀系列
产品概述
高真空球阀是用于真空系统中接通或切断介质流动的关键部件，其密封性能直接影响系统真空度。德国Lit力特进口高真空球阀采用双密封设计和精密加工，适用于低至10⁻⁷ Pa的真空环境，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科研实验、高纯气体输送等领域。产品经过严格泄漏检测，确保长期稳定运行。
核心特点
01
高真空密封
采用金属密封或可熔性聚四氟乙烯密封，泄漏率可低于10⁻⁹ Pa·m³/s，满足高真空系统要求。
02
低启闭扭矩
球体表面特殊处理，启闭轻便，适合手动或气动执行器驱动，便于自动化集成。
03
耐腐蚀材质
常用不锈钢316L或哈氏合金，可适应腐蚀性气体及高纯介质，材料选择灵活。
技术参数
| 参数项 | 范围 |
|---|---|
| 公称通径 | DN15 ~ DN200 (1/2" ~ 8") |
| 压力范围 | 真空至 PN16 (更高压力可定制) |
| 使用温度 | -20°C ~ +200°C（依据密封材料） |
| 泄漏率 | ≤ 1.3 × 10⁻⁹ Pa·m³/s (He) |
| 连接方式 | 卡箍、法兰、焊接、螺纹 |
注：具体参数以实际选型为准，请联系获取详细资料。
适用工况与注意事项
适用工况
- ✓ 真空度要求高于10⁻³ Pa的系统
- ✓ 惰性气体、洁净气体、高纯介质
- ✓ 半导体、光伏、真空镀膜、科研装置
- ✓ 需频繁通断或自动化控制的系统
注意事项
- • 高温或腐蚀性介质需确认密封材料兼容性
- • 安装时应避免杂质进入阀腔，影响密封
- • 长期使用需定期检漏，确保真空性能
- • 压力超过PN16需特殊设计，请咨询选型工程师
选型指南
选择高真空球阀时，建议按以下步骤确认需求：
-
1
确定真空度要求： 系统所需真空级别（如低真空、高真空、超高真空），选择对应密封等级。
-
2
介质特性： 气体种类、腐蚀性、纯度、颗粒含量，选择阀体与密封材料。
-
3
接口尺寸与连接方式： 匹配现有管道或设备接口，常用卡箍、法兰、焊接。
-
4
操作方式： 手动、气动或电动执行器，是否需自动化控制。
应用场景
半导体制造
用于真空腔体、气体输送系统，确保工艺气体纯净与真空环境稳定。
真空镀膜设备
控制镀膜室内气体通断，配合自动化系统实现精确工艺控制。
科研与实验室
高能物理、材料研究等真空系统，要求可靠密封与低放气。
如需了解其他行业应用，请查看进口阀门产品分类或直接咨询。
常见问题 (FAQ)
高真空球阀与普通球阀有何区别？
高真空球阀采用更精密的密封结构和更低放气率的材料，泄漏率通常低至10⁻⁹ Pa·m³/s级别，而普通球阀无法满足高真空系统对泄漏率的严格要求。
阀门的泄漏率等级如何确认？
产品出厂前会进行氦检漏测试，并附报告。泄漏率等级与密封设计、材料、加工精度相关，选型时可提供目标泄漏率，由我们推荐合适型号。
可否用于高纯气体（如N₂、Ar）？
可以。采用不锈钢316L材质与合适的密封材料，可满足高纯气体输送要求，但需避免颗粒污染。
如何获取产品报价与货期？
请提供所需通径、连接方式、介质、真空度等信息，联系中国代理深圳前港贸易有限公司获取报价与货期。